金属覆盖层厚度及其均匀性是覆盖层的重要质量标志，它在很大程度上影响产品的可靠性和使用寿命。检测材料表面的金属覆盖层的厚度及其均匀性，有助于监控产品质量，改善工艺，提高效应。
测量覆盖层厚度时有以下几个主要的影响因素：
1.覆盖层或覆盖层基体表面的粗糙度情况，如果很粗糙那么会影响测量精度；
2.横断面的斜度，如果横断面不垂直与待测覆盖层平面，那么测试值将会偏大；
3.覆盖层变形，试样制备过程中如果覆盖层产生了有害的变形，那么测量结果也会受到影响；
4.覆盖层边缘倒角，试样制备时有不正确的打磨抛光，导致覆盖层边缘不平整影响测量结果；
5.附加镀层，试样制备时为了保护覆盖层边缘，常在待测试样上附加镀层，附加的镀层在去除时也会影响测量精度；
6，其他的一些影响因素，如：浸蚀、放大倍数（显微镜的视野为覆盖层厚度的1.5~3倍）、显微镜质量等均会对测量精度造成影响。
