扬州金属材料EDS+SEM电镜物理性能测试

　EDS+SEM

　　SEM+EDS测试原理：

　　SEM：利用阴极所发射的电子束经阳极加速，由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流，这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息，经过分别收集，放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。

　　EDS： 入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析。

　　主要检测

　　1.表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测（可达3nm的解析度）；

　　2.微薄镀层厚度测量（良好的前处理，可测量0.18nm甚至更低膜厚）；

　　3.表面失效分析（污染、异色、腐蚀、损伤等检测）；

　　4.表面相分析、夹杂物鉴别等；

　　5.金属断口分析；

　　6.焊接或合成界面分析；

　　7.锡须观察。

　　参考标准：

　　GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则

　　GB/T米级长度的扫描电镜测量

　　JY/T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则

　　JESD-22a121.01测量锡和锡合金材料表面晶须生长的测试方法

　　电镜铝球

　　场扫描电镜对样品要求

　　样品要尽可能干燥，若样品中含有水份，水分挥发会造成仓内真空度急剧下降，导致图像漂移，有白色条纹，甚至会影响灯丝寿命；

　　热稳定性好，热稳定性差的样品往往在电子束的轰击解，释放气体和其他物质，污染电镜；

　　导电性好，导电性差的样品会发生荷电效应，造成图像畸变，亮点亮线，像散等；

　　不含强磁性，强磁性的样品观察一般会出现严重的像散，无法消去，磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上，损害电镜。